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제목

반도체 웨이퍼 모니터링시스템 (진동/ 온도/ 습도/ 경사/ 무선)

작성자

bisope

카테고리

모니터링시스템

첨부파일

!블-279-2-편-반도체 웨이퍼 모니터링시스템 (진동온도습도경사무선)-astint.co.kr.pdf

반도체 웨이퍼 모니터링시스템 (진동/ 온도/ 습도/ 경사/ 무선)

TEL: 02-6480-9991 sales@astint.co.kr Copyright. 에이에스티(AST) www.astint.co.kr

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진동교육, 진동계측기, TPI, 진동진단, EI, phantom, wiser, acoustic cam, 가진기. 진동측정, 비틀림진동, 반도체진동

- 진동: 최대 1000Hz 샘플링, 최대 16G, 3축

- 각도 반응속도: 250~2000°/sec

- 온도: 0~60℃

- 습도: 0~100%RH

- 직경(300/200mm), 두께(4mm), 무게(242g)

- 무선 wifi, Sd card 16G, BT

- 밧데리 4hr(순수 작동시)

- 출력: CSV

- 분석기법(waveform, FFT power/density spectrum, trigger measuring, rms. peak hold, angle vector sum, trend analysis. Band filter)

- 반도체 로봇관련 모니터링에 활용

- 웨어퍼의 불량감소를 위한 감시에 회적

- 진동과 온도 습도 경사까지 모두 측정

- 전혀 저렴하지 않은 가격대

- 무선계측 and SD카드저장계측

- 대만 반도체 제작 생산라인 투입

- 반도체 생산라인 (웨이퍼 로봇, IC Stocker)

- 반도체 로봇(제작 및 수리 모니터링)

- 기타 정밀기계활용 (공작기계, 자동제어라인, 얇은 공간활용, 평면모니터링 등)